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投資界（ID：pedaily2012）3 月 29 日消息，清楓資本近日正式完成對(duì)國內(nèi)高端半導(dǎo)體光刻膠廠商徐州博康的數(shù)千萬元投資交割。
徐州博康成立于 2010 年，專注于中高端光刻膠及相關(guān)原材料研發(fā)制造，致力于推動(dòng)半導(dǎo)體關(guān)鍵材料國產(chǎn)化進(jìn)程。公司生產(chǎn)基地位于江蘇邳州，在上海松江擁有獨(dú)立的研發(fā)中心。
目前，徐州博康已實(shí)現(xiàn) " 單體——樹脂、光酸——光刻膠 " 全國產(chǎn)化、全產(chǎn)業(yè)鏈布局，擁有 ArF/KrF 光刻膠單體、ArF/KrF 光刻膠、G 線 /I 線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品，覆蓋集成電路制造、后段封裝、化合物半導(dǎo)體、分立器件、電子束等市場應(yīng)用，研發(fā)儲(chǔ)備全球 80% 的光刻膠單體產(chǎn)品技術(shù)，其中 KrF 光刻膠單體占全球份額超過 20%。在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，徐州博康已研發(fā)高端 ArF 光刻膠 26 款，其中應(yīng)用于通孔工藝的 ArF 濕法光刻膠，已經(jīng)能夠應(yīng)用至 40nm/28nm 工藝節(jié)點(diǎn)，是國內(nèi)第一款國產(chǎn)化的 ArF 濕法通孔光刻膠；已研發(fā)高端 KrF 光刻膠 30 款，其中主要針對(duì) lift-off 工藝的金屬剝離負(fù)膠，底部倒角可控，是目前國內(nèi)唯一可提供此類 KrF 的產(chǎn)品。
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